SDW系列直流溅射电源

产品概述主要特点

SDW系列直流溅射电源

SDW系列直流溅射电源

SDW系列直流溅射电源

等离子体电源

SDW系列直流溅射电源

SDW系列直流溅射电源，采用高频电力电子和软开关技术，基于高速数字控制平台，实现输出宽范围连续调节，为PVD类溅射镀膜工艺设备开发。可广泛用于工业、泛半导体和半导体行业，如工具金属镀膜、手机外壳金属镀膜、装饰镀膜、太阳能电池镀膜等。

Features

主要特点

输入PFC整流，电流谐波小，功率因数高

01

输出恒压、恒流、恒功率三种模式可选，自动切换

02

点火电压高、中、低可选

03

输出储能低，＜1mJ/kW

04

智能弧管理功能

05

电弧响应速度快，＜1μs

06

丰富的控制接口，配备显示屏，操作便捷

07

机架式模块化设计，可并机

08

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